尼康三坐標測量機，適用于大型平板顯示部件等大尺寸零部件的高速、高精度測量。擅長測取接觸式量儀所無法測量的各種零部件尺寸。 8方向程控LED 環形照明系統、自動影象對焦以及具有掃描功能的激光自動對焦裝置均為標準配置。15倍變焦比的5段程控變焦鏡組，可以在各段(倍率)間進行自由切換，以滿足低倍大視場觀察搜索和高倍精密測量兩方面的需求。

尼康三坐標測量機應用領域：各種掩模板、掩模母板、蔭罩、平板顯示器件、印刷電路板等。