三坐標測量儀，它是指在一個六面體的空間范圍內，能夠表現幾何形狀、長度及圓周分度等測量能力的儀器，又稱為三坐標測量機或三坐標量床。三坐標測量儀可定義為“一種具有可作三個方向移動的探測器，可在三個相互垂直的導軌上移動，此探測器以接觸或非接觸等方式傳送訊號，三個軸的位移測量系統(如光學尺)經數據處理器或計算機等計算出工件的各點坐標(X、Y、Z)及各項功能測量的儀器”。三坐標測量儀的測量功能應包括尺寸精度、定位精度、幾何精度及輪廓精度等。

尼康三坐標測量儀，適用于大型平板顯示部件等大尺寸零部件的高速、高精度測量。擅長測取接觸式量儀所無法測量的各種零部件尺寸。 8方向程控LED 環形照明系統、自動影象對焦以及具有掃描功能的激光自動對焦裝置均為標準配置。15倍變焦比的5段程控變焦鏡組，可以在各段(倍率)間進行自由切換，以滿足低倍大視場觀察搜索和高倍精密測量兩方面的需求。